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简要介绍了微系统技术中几种新材料，如液相外延硅，多晶硅、金刚石膜，新型玻璃，碳化硅薄膜的性能和制备方法。
微系统技术（连载二）—微系统采用的新材料
【摘 要】
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简要介绍了微系统技术中几种新材料，如液相外延硅，多晶硅、金刚石膜，新型玻璃，碳化硅薄膜的性能和制备方法。
【机 构】
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东北传感技术研究所
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1995年5期
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