【摘 要】
：
日本对光CVD设备的研制水平高,进展快,除已有的hv-1、hv-2、hv-3型外,最近,某公司又研制出一种单片式光CVD装置。这种型号为BU-106型的光CVD装置的主要特点是:1.将氧气转变
论文部分内容阅读
日本对光CVD设备的研制水平高,进展快,除已有的hv-1、hv-2、hv-3型外,最近,某公司又研制出一种单片式光CVD装置。这种型号为BU-106型的光CVD装置的主要特点是:1.将氧气转变为臭氧用的波长为185nm紫外光强度提高至10mW/cm~2;将臭氧分解为氧原子团,并使之与SiH_4反应的波长为254nm的紫外光强度提高至30mW/cm~2。
Japan’s optical CVD equipment developed at a high level, rapid progress, in addition to the existing hv-1, hv-2, hv-3 type, recently, a company has developed a monolithic optical CVD device. The main features of this type of BU-106 type of CVD device are: 1. The wavelength of 185nm ultraviolet light used to convert oxygen into ozone is increased to 10mW / cm ~ 2; the ozone is decomposed into oxygen radicals, The intensity of ultraviolet light with a wavelength of 254 nm that is reacted with SiH 4 is increased to 30 mW / cm 2.
其他文献
当家族成员共处一室，常会闹“矛盾”，如系统崩溃、启动错误、程序无法使用等等。由于多系统问题的解决办法不同于单系统，其操作的正确Windwos与否将直接影响到其它系统的正常使
朝阳地区气候干旱,年降水量为500毫米左右,而且多集中在七、八月份,并常发生阵性降雨,造成严重的土壤冲刷。尤其砂岩山地的阳坡,植被稀少,日照时数长,土层厚度一般为8～12厘米
采用Ti内扩散和质子交换法在X-切LiNbO_3上制出TE偏振的集成光学偏振器,工作在λ=0.8-0.85μm的偏振器展示0.2dB的额外插入损耗和大于50dB的偏振消光比测量极限。这些数据是
摘 要：英语语言运用中广义上的一致包括修饰词和中心词的一致、分词与逻辑主语的一致、主从句时态的一致、反意疑问句中的一致、虚拟条件句中的一致、平行或并列结构中的一致、时态运用和情景交际的一致等。英语语言学习者只有熟练掌握并准确运用这些一致原则，才能做到语言更清晰，表达更流畅。 关键词：英语语言；运用；一致原则 [中图分类号] G633.41 [文献标识码] A [文章编号]1009-6426（2
按照惯例,人们采用两种截然不同的方案,通过接收反射声波的范围来获得增益的变化,以便在标准B超成象系统中补偿组织衰减。第一种技术方案采用一个可变增益放大器或具有60～70d
幼儿时期是催生科学梦想的黄金时期。教师需要把培养幼儿的好奇心、探究热情、初步的科学精神和态度作为幼儿科学教育最关键的目标。环境、课程、活动三元素融合,共同编织成
遍观计算机的发展历程,现在的存储技术已由存储硬件一枝独秀步入了“软硬并举”的时期,存储软件的重要性日益得到体现。
Throughout the development process of the comput
7月15日—18日,2009(香港)山东省山东区域发展战略说明会上,“山东半岛蓝色经济区”作为山东最重要的区域发展战略正式向海外发布,成为该省实现跨越发展的新坐
From July 15
在千米井下,有他的身影;在紧张的煤仓施工工地,有他的身影;在综采工作面的安装现场,有他的身影;在科研创新项目中,有他的身影。他就是北京京煤集团鄂尔多斯市昊华精煤有限责
设计自动化已经成为发展计算机工业,VLSI工业的关键因素。不仅因为它是降低开发和研制周期,提高产品性能价格比的重要手段,更主要的原因在于:(1)电子工业的迅速发展,缩短了