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通过调控薄膜生长衬底温度，提出了一种改良的蒸汽辅助沉积法制备有机-无机混合钙钛矿薄膜，可以更为可控优化薄膜生长条件。用同步辐射掠入射X射线衍射(Grazing Incidence X-ray Diffraction, GIXRD)结合扫描电镜(Scanning Electron Microscope, SEM)、紫外可见吸收谱(UV-Visible Absorption Spectrum)等表征方法证明衬底温度对制备的钙钛矿薄膜质量具有重要的作用：较低的衬底温度(约70°C)有助于钙钛矿晶粒的形成，其结晶性、晶面择优生长取向均较好，同时具有较高的光吸收性能；当衬底温度升高时(100°C、125°C)，所制备的钙钛矿薄膜结晶性变弱，晶体择优生长取向明显变差，光吸收性能随之下降。研究结果有助于进一步优化蒸汽辅助沉积法制备钙钛矿薄膜工艺。