GaAs超薄层腐蚀与非线性光学器件制作

来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yvonnechan

【摘要】

：

用液相外延生长与H2O2选择腐蚀制备了GaAs—GaAlAs非线性光学器件。研究了H2SO4:H2O2:H2O

【作者】

：

朴友植孙智江杜淑琴张月清

【机构】

：

中国科学院长春物理研究所,中国科学院长春物理研究所

【出处】

：

液晶与显示

【发表日期】

：

1991年5期

【关键词】

：

非线性光学器件光学非线性超薄层液相外延生长腐蚀过程腐蚀速度腐蚀液表面形貌腐蚀机理半导体激光器

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用液相外延生长与H2O2选择腐蚀制备了GaAs—GaAlAs非线性光学器件。研究了H2SO4:H2O2:H2O腐蚀液的快速腐蚀和H2O<

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