【摘 要】
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样品的制备是对影响样品质量的各个工艺参数进行优化的过程.传统的试错法是对各个参数逐个进行尝试,需要的周期较长.与传统的单参数尝试法相比,高通量样品制备方法可以对参数
【机 构】
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天津师范大学物理与材料科学学院,中国科学院物理研究所,北京信息科技大学
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:11474338,51001081)资助的课题
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样品的制备是对影响样品质量的各个工艺参数进行优化的过程.传统的试错法是对各个参数逐个进行尝试,需要的周期较长.与传统的单参数尝试法相比,高通量样品制备方法可以对参数实现并行筛选,因而极大地缩短了优化工艺所需的时间.本工作借助高通量制备方法成功实现系列镧掺杂BiFeO3薄膜的快速优化,包括对烧结温度、镧元素含量和高温固态反应气氛等关键工艺参数的快速筛选,同时分析了不同生长条件下样品的结构并测试了其铁电性.实验结果表明:1)560℃烧结可得到单相薄膜;2)测量不同La含量样品的铁电性,发现当E=75 kV/c
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