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Effect of chelating agent concentration in alkaline Cu CMP process under the condition of different
Effect of chelating agent concentration in alkaline Cu CMP process under the condition of different
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:deathadam
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【作 者】
:
Yuan Haobo
Liu Yuling
Jiang Mengting
Liu Weijuan
Chen Guodong
【机 构】
:
Institute of Microelectronics, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, China
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2014年11期
【关键词】
:
alkaline slurry
Cu CMP
synergistic effect
planarization
step height
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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