【摘 要】
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当前随着我国电子行业的不断发展,集成电路短路失效引起了人们的重点关注,过电应力极容易造成CMOS集成电路短路失效,其中,导电通路、电路结构、人工误操作等因素是短路失效的
【机 构】
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当前随着我国电子行业的不断发展,集成电路短路失效引起了人们的重点关注,过电应力极容易造成CMOS集成电路短路失效,其中,导电通路、电路结构、人工误操作等因素是短路失效的主要原因,本文主要进行了过电应力的介绍,对电流幅度较小情况下诱发的过电应力烧毁现象进行了分析,并且利用SEM&EDS技术进行了集成电路短路失效原因的分析,以便为技术人员集成电路故障归零、失效分析提供参考依据.
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