温湿传感器及其在线检测中的应用

• 作 者: 茅有福 许德霖 刘锦高 杨荷金
• 机 构: 华东师范大学,华东师范大学,华东师范大学,华东师范大学
• 出 处: 上海计量测试
• 发表日期: 1994年04期
• 关键词: 传感器件 在线检测 金属薄膜 高分子薄膜 湿敏 平行板 毛发湿度计 工作原理 温湿度传感器 传感器芯片

一、温湿传感器 1.工作原理 高分子薄膜能可逆地吸收和释放水分子,其介电常数将随之变化。用这种薄膜作为电介质与金属平行板电极组成的电容结构,能对环境气氛中的湿度进行

First, the temperature and humidity sensor 1 working principle Polymer film can reversibly absorb and release water molecules, the dielectric constant will change. With this film as a dielectric and metal parallel plate electrode capacitor structure, the ambient humidity can be carried out