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将小波阈值收缩去噪技术应用于原子力显微镜(AFM)图像去噪的同时,应用最小二乘拟合法对 AFM 二维小波分解近似子图像的一次倾斜平面进行校正,从而同步实现了 AFM 图像去噪与平面校正。在保证图像去噪效果及平面校正质量的前提下,大幅度减少了最小二乘拟合计算量,提高了算法实时性能。由于该方法借助于小波变换实现,可以方便地与图像的小波压缩方法相结合,因此更有利于 AFM 扫描图像的原位分析与处理。通过实验,采用上述方法对 AFM 扫描图像进行了降噪与平面校正处理,证明了此方法的有效性。