【摘 要】
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采用线性离子束沉积技术于AZ80镁合金微弧氧化（MAO）陶瓷层表面沉积不同厚度的类金刚石碳（DLC）膜,形成DLC/MAO复合膜层。对比研究4种膜基系统的表面结构特征、力学性能以及摩擦学
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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采用线性离子束沉积技术于AZ80镁合金微弧氧化（MAO）陶瓷层表面沉积不同厚度的类金刚石碳（DLC）膜,形成DLC/MAO复合膜层。对比研究4种膜基系统的表面结构特征、力学性能以及摩擦学性能差异。结果表明：随DLC膜厚度增加,复合膜层表面微孔数量减少,孔径减小,但凹凸不平趋势增加,且DLC膜表面颗粒特征更加明显,表现为DLC-80min/MAO/AZ80膜基系统具有最小的表面粗糙度,最大的硬度H、弹性模量E及H/E值;不同厚度DLC/MAO/AZ80膜基系统平均摩擦因数较MAO/AZ80显著降低;DLC膜
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