【摘 要】
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多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是自动控制、信息处理、太阳能光伏系统、人工智能等半导体器件的基础材料。近年来,随着我国信息产业、新能源行业的快速发展,对多晶硅产品的
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多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是自动控制、信息处理、太阳能光伏系统、人工智能等半导体器件的基础材料。近年来,随着我国信息产业、新能源行业的快速发展,对多晶硅产品的需求越来越大。然而多晶硅产品在加工的时候,受到各种因素的影响,导致产品的质量低,无法满足高新技术产业的发展要求。主要分析了原材料、还原剂氢气的纯度、制备工艺对多晶硅产品质量的影响。
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