【摘 要】
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对粒子加速器和储存环的超高真空系统,消除其表面污染的标准方法是化学清洗、真空炉焙烧、辉光放电清洗(GDC)及原位烘烤真空系统.本文介绍一种可替代辉光放电的清洗方法:用一氧化氮反
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对粒子加速器和储存环的超高真空系统,消除其表面污染的标准方法是化学清洗、真空炉焙烧、辉光放电清洗(GDC)及原位烘烤真空系统.本文介绍一种可替代辉光放电的清洗方法:用一氧化氮反应气体进行清洗(RGC),它已被用于处理几种不锈钢制作的加速器真空室,用NO气体处理的效果与其它方法相比,优于普通化学清洗和真空炉焙烧,完全可以和辉光放电清洗相比较,却避免了溅射情况下可能引起的表面损伤.
For particle accelerators and storage rings, ultra-high vacuum systems, the standard methods to eliminate surface contamination are chemical cleaning, vacuum oven firing, glow discharge cleaning (GDC) and in situ baking vacuum systems. This article describes an alternative to glow discharge cleaning: nitric oxide gas cleaning (RGC), which has been used to treat several accelerators made of stainless steel vacuum chamber, with the effect of NO gas treatment and other methods Compared with ordinary chemical cleaning and vacuum furnace roasting, compared with the glow discharge cleaning, but can avoid the sputtering may cause surface damage.
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