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介绍了利用逐层生长法（ｌａｙｅｒ ｂｙ ｌａｙｅｒ）在等离子体化学气相沉积系统中制备纳米硅薄膜，着重介绍了制备纳米硅薄膜的沉积过程和生长机制。指了氢基团为制备新技术发展的关键，并且将在今后纳米硅薄膜制备技术发展中起重要作用。
纳米硅薄膜制备新技术——逐层生长法
【摘 要】
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介绍了利用逐层生长法（ｌａｙｅｒ ｂｙ ｌａｙｅｒ）在等离子体化学气相沉积系统中制备纳米硅薄膜，着重介绍了制备纳米硅薄膜的沉积过程和生长机制。指了氢基团为制备新技术发展的关键，并且将在今后纳米
【机 构】
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浙江大学材料系,浙江大学材料系杭州310027,杭州310027,杭州310027
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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1995年6期
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