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利用等离子体化学气相沉积法制备了ＳｎＯ２－Ｓｂ导电薄膜，测试了ＳｎＯ２－Ｓｂ的气敏效应。结果表明，该薄膜对ＮＯ２气体有较好的气敏特性，当测试温度升高，其气敏响应时间相差无几，但恢复时间变短，同时气敏灵敏度相对提高，当温度达到２００℃以上时，灵敏度基本恒定。
SnO2—Sb薄膜材料的制备及气敏性能
【摘 要】
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利用等离子体化学气相沉积法制备了ＳｎＯ２－Ｓｂ导电薄膜，测试了ＳｎＯ２－Ｓｂ的气敏效应。结果表明，该薄膜对ＮＯ２气体有较好的气敏特性，当测试温度升高，其气敏响应时间相差无几，但恢复时间变短，同时气敏灵敏度相
【机 构】
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华东冶金学院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1998年1期
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