【摘 要】
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The authors have developed an experimental system for the studies of extreme ultraviolet projection lithography at 13.0nm wavelength, which includes a laser p
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The authors have developed an experimental system for the studies of extreme ultraviolet projection lithography at 13.0nm wavelength, which includes a laser plasma source, an ellipsoidal condenser, a transmission mask and a Schwarzschild optics. The optical system is optimized to achieve 0.1μm resolution over a 0.1mm diameter image field of view and the mirrors of the objective were coated with Mo/Si multilayer to provide 60% reflectance at near normal incidence angle for 13.0nm radiation.
The authors have developed an experimental system for the studies of extreme ultraviolet projection lithography at 13.0 nm wavelength, which includes a laser plasma source, an ellipsoidal condenser, a transmission mask and a Schwarzs optics. The optical system is optimized to achieve 0.1 μm resolution over a 0.1 mm diameter image field of view and the mirrors of the objective were coated with Mo / Si multilayer to provide 60% reflectance at near normal incidence angle for 13.0 nm radiation.
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