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对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究
对向靶反应溅射CN薄膜热稳定性的Raman散射研究
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a8586023
【摘 要】
:
用Raman散射研究了对向靶反应溅射制备的CN薄膜的键结构,研究表明,在C膜中掺杂N可以抑制CN膜中sp^3键的形成,提高sp^2键的相对含量,改善C膜的结构热稳定性。
【作 者】
:
白海力
姜恩永
【机 构】
:
天津大学理学院,300072
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1999年7期
【关键词】
:
RAMAN散射
CN薄膜
对向靶反应溅射
热稳定性
Raman scattering CN film doping annealing
【基金项目】
:
国家自然科学基金!59801006,,国家教委博士点基金!D096006,,天津市21世纪-青年科学基金!9837001111,,天津大学理科青年基金
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用Raman散射研究了对向靶反应溅射制备的CN薄膜的键结构,研究表明,在C膜中掺杂N可以抑制CN膜中sp^3键的形成,提高sp^2键的相对含量,改善C膜的结构热稳定性。
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