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利用自行设计的高能机械化学球磨机。在室温下通过使钼粉在NH3气氛下高能球磨得到了超微氮化钼粉体。XRD和SEM分析表明，在球料比仅为8：1的情况下：经过30h球磨，粉体平均粒度在100nm以内。机械化学反应过程中，氨气分子在钼金属清洁表面的化学吸附起着重要的作用，球磨过程中介质球碰撞储存于钼粉中的能量则提供了Mo-N化学吸附向氮化钼转变所需的激活能。在Mo与NH3的高能机械化学反应过程中，球磨转速的高低对整个反应的速度很大的影响。