【摘 要】
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半导体应变片是一种新型的力敏元件。本文阐述了扩散硅力敏应变片的设计依据。据此,设计与制造出灵敏系数大于80、受力截面小于0.009mm~2的ML13型硅力敏应变片。通过性能测试
【机 构】
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电子工业部第49研究所,电子工业部第49研究所,电子工业部第49研究所
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半导体应变片是一种新型的力敏元件。本文阐述了扩散硅力敏应变片的设计依据。据此,设计与制造出灵敏系数大于80、受力截面小于0.009mm~2的ML13型硅力敏应变片。通过性能测试,实际指标与设计指标吻合,满足了技术指标的要求。本产品达到了批量生产与实际应用的阶段。
Semiconductor strain gauges are a new type of force-sensitive element. This article describes the design basis of the diffusion silicon force-sensitive strain gage. Accordingly, the design and manufacture of the sensitivity coefficient of more than 80, the force cross-section is less than 0.009mm ~ 2 ML13 type silicon force-sensitive strain gauge. Through the performance test, the actual indicators and design indicators match, to meet the technical indicators. This product has reached the stage of mass production and practical application.
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