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本文用激光分子束外延,原子尺度控制的外延生长出多种钙钛矿氧化物薄膜和异质结.原子力显微镜和高分辨透射电镜测量结果表明,薄膜与异质结的表面和界面均达到原子尺度的光滑.制备出在可见光波段透过率大于85%的导电氧化物薄膜;物性研究结果表明,随着含氧量的不同,BaTiO3薄膜具有绝缘体、半导体和导体的不同特性.BaTiO3/SrTiO3超晶格的光学非线性效应比BaTiO3体材增大23倍.