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采用微波等离子体化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ），用高纯氮气（９９．９９９％）和甲烷（９９．９％）作反应气体，在多晶铂（Ｐｔ）基片上沉积Ｃ３Ｎ４薄膜。利用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）观察薄膜形貌表明，薄膜由针状晶体组成，Ｘ射线能谱（ＥＤＸ）分析这晶态Ｃ－Ｎ膜的化学成分。对不同样品没区域的分析结果表明，Ｎ／Ｃ比接近于４／３。坶衍射结构分析说明该膜主要由β－Ｃ３Ｎ４的α－Ｃ３Ｎ４组成