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<正> 气体泄漏检测器的开发日化协月报,38(9),21～27(1985) 1980年,日本氧气公司研制了检测半导体工业用的硅烷、砷烷、硼烷等有毒气体的新仪器。该检测器是根据用冷原子吸收光法来分析包括上述气体和从氧化汞反应中分离的汞蒸汽。介绍了该仪器的经纬、规格与性能。
文摘三则
【摘 要】
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<正> 气体泄漏检测器的开发日化协月报,38(9),21～27(1985) 1980年,日本氧气公司研制了检测半导体工业用的硅烷、砷烷、硼烷等有毒气体的新仪器。该检测器是根据用冷原子吸收光
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1986年4期
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