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利用sol-gel工艺，在硅衬底上制备了纳米晶LaFeO3薄膜．测试了在乙醇蒸气和NO：气氛下处理后的光电子能谱（XPS），结果表明，纳米晶LaFeO3薄膜吸附乙醇后，表面吸附氧含量明显降低，铁含量略有下降；吸附氧化性气体NO2后，表面吸附氧和铁含量明显增高，且存在三价铁离子向四价铁离子转化的趋势．通过测试和分析表明，LaFeO3的敏感机理不仅与表面吸附氧相关，还与表面三价铁离子的变价有关．