【摘 要】
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采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3 wt%的氧化锌陶瓷靶材（ZnO∶Ga2O3=97∶3,wt%）。分析研究了烧结温度对靶材致密度、物相组成、微观结构及烧结收缩变化率的影响。结果表
【机 构】
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三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室; 广西新未来信息产业股份有限公司;
【基金项目】
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透明电极用高性能AZO溅射靶材研制及其产业化应用探索(桂科转1599002-3)
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采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3 wt%的氧化锌陶瓷靶材（ZnO∶Ga2O3=97∶3,wt%）。分析研究了烧结温度对靶材致密度、物相组成、微观结构及烧结收缩变化率的影响。结果表明:烧结温度的升高对GZO靶材试样中的Ga元素扩散有促进作用,并且当烧结温度达到1000℃时,试样中经由固相反应生成ZnGa2O4尖晶石相,随着烧结温度进一步升高,生成的ZnGa2O4尖晶石相会与ZnO继续反应生成化合物Zn9Ga2O12。烧结温度为1400℃时靶材致密程度最高,相对密度达90.5%TD（Theoretical Density）。根据试样的受热收缩曲线,制定出GZO靶材的烧结制度,按制度烧结得到的靶材试样相对密度提升至93.54%TD。
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