【摘 要】
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一、前 言 离子注入工艺是把要注入的杂质元素电离 成离子.然后通过磁分析器分析和加速器加速, 得到较纯的离子,并以很快的速度,将这种离子 打入固体靶内,以达到改变固体表面
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一、前 言 离子注入工艺是把要注入的杂质元素电离 成离子.然后通过磁分析器分析和加速器加速, 得到较纯的离子,并以很快的速度,将这种离子 打入固体靶内,以达到改变固体表面的物理化 学性能.这种注入工艺早在五十年代就已进行 了大量的研究.当时的研究以金属为主。主要 是进行
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