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为了分析CMOS SnO2气体传感器的工作，有必要建立合适的模型，采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freundlich等温吸附很好地解释了SnO2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系，利用ANSYS7．0对实际设计的传感器进行了热仿真，这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制。