【摘 要】
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日本住友金属工业公司(Sumitomo Metal Industries)披露了其生长体SiC的一种新方法,生长速度是常规升华方法的两倍,且缺陷更少。这家日本钢材制造专业公司将其高温材料生产业
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日本住友金属工业公司(Sumitomo Metal Industries)披露了其生长体SiC的一种新方法,生长速度是常规升华方法的两倍,且缺陷更少。这家日本钢材制造专业公司将其高温材料生产业务扩展到制造6英寸直径的SiC晶片,且其生长速率超过200μm/h。住友已成功生产出5mm厚2英寸直径的单晶,
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