溶胶-凝胶法制备Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜的微结构及介电性能研究

• 作 者: 张柏顺 万能 章天金
• 机 构: 湖北大学物理学与电子科学技术学院
• 出 处: 湖北大学学报：自然科学版
• 发表日期: 2006年1期
• 关键词: 钛酸锶钡薄膜 溶胶-凝胶法 微结构 介电性能 BST thin films sol - gel method dielectric property micro
• 基金项目: 国家自然科学基金（5637201/E0204）资助项目,湖北省自然科学基金（2003ABA06）资助项目.

使用部分醋酸盐为原料,用改进的溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡（Ba0.6Sr0.4TiO3, BST）薄膜. 场发射扫描电镜（FESEM）分析发现,薄膜均匀致密,表面无空洞、无开裂,晶粒尺寸约为50 nm. 用原子力显微镜（AFM）测量薄膜表面的方均根粗糙度为7.8 nm. 用透射电镜（TEM）观察薄膜的断面结构,用阻抗分析仪测试了薄膜的介电性能,其介电常数和介电损耗分别为460和4 %（1 kHz）.