超精密加工工艺及设备

来源 :磨床与磨削 | 被引量 : 0次 | 上传用户:newrevon
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随着科学技术及工业生产的发展,许多尖端工业的产品对机械零件的要求也大为提高,不仅在尺寸精度,而且在形位公差、表面状态及理化性能等方面均有更加严格的要求。如动压陀螺用电机的支承零件,不仅要求0.1微米以内的加工误差,而且要求表面耐磨,在高速旋转条件下能够起停上万次;又如,用作相对论试验的静电陀螺球形转子,不仅要求0.025微米的球形度,而且要求表层尽量无残余应力,以便保持尺寸的长期稳定性;再如,激光陀螺 With the development of science and technology and industrial production, the requirements of many cutting-edge industrial products on mechanical parts are also greatly enhanced, not only in terms of dimensional accuracy, but also in terms of geometric tolerances, surface conditions and physical and chemical properties. Such as the dynamic pressure gyro motor bearing parts, not only requires less than 0.1 microns processing error, but also requires the surface wear, high-speed rotation can start and stop thousands of times; another example, used as a relativistic test electrostatic gyro spherical rotor, Not only requires the sphericity of 0.025 microns, but also requires no surface residual stress as possible in order to maintain the long-term stability of the size; Another example, the laser gyro
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