制膜技术与装置

来源 :中国光学与应用光学文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户：willian_tang

【摘要】

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O484.4 2002064342气流混合对生长 GaN:Si 膜性能影响的研究=Proper-ties dedendence of GaN:Si films on gas flow mix-ture[刊,中]/莫春兰,李鹏,王立,熊传兵,彭学新,辛勇,

【出处】

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中国光学与应用光学文摘

【发表日期】

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2002年6期

【关键词】

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类金刚石薄膜金刚石成核人工晶体金刚石膜成核密度膜技术负衬底偏压过渡层原子力显微镜扫描电子显微镜

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O484.4 2002064342气流混合对生长 GaN:Si 膜性能影响的研究=Proper-ties dedendence of GaN:Si films on gas flow mix-ture[刊,中]/莫春兰,李鹏,王立,熊传兵,彭学新,辛勇,姚冬敏,李述体,江风益(南昌大学材料科学研究所.江西,南昌(330047))∥光学学报.—2002,22(2).—181-185用金属有机化学气相沉积技术在三种不同型号的反

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