【摘 要】
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软 X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成 ,通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期膜厚 ,并拟和出整个曲面的镀膜速率。为
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室!吉林长春130022,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室!吉林长春130022,中国科学院长春光学精密机械与物理
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软 X射线光学系统需要在超光滑曲面上均匀镀膜。我们将超光滑曲面看作由若干个小平面拼接而成 ,通过小角衍射仪测量出各个小平面的周期膜厚 ,并拟和出整个曲面的镀膜速率。为提高控制精度 ,我们对同一片多层膜进行等精度多次测量 ,去除其中的粗大误差、系统误差 ,最后得到多层膜厚度的最佳估计值
Soft X-ray optics require uniform coating on ultra-smooth surfaces. We regard an ultra-smooth surface as a mosaic of several facets. The periodic film thickness of each facet is measured by a small-angle diffractometer and the coating rate of the entire surface is drawn. In order to improve the control precision, we measured the same piece of multi-layer film repeatedly with equal accuracy, removed the coarse error and system error, and finally got the best estimate of the multilayer film thickness
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