【摘 要】
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<正> 虽然为了测量位移而研制了各种各样的高精度测量装置,但是多数情况是将这些高精度测量装置装到其它驱动装置上使用或者将多个装置组装在一起使用,这样一来装置的尺寸就
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<正> 虽然为了测量位移而研制了各种各样的高精度测量装置,但是多数情况是将这些高精度测量装置装到其它驱动装置上使用或者将多个装置组装在一起使用,这样一来装置的尺寸就成为问题.若以装有压电器件和测微器的微小载物台为例,众所周知,压电器件的滞后现象和测微器的齿隙引起其测量分辨率或精度的劣化.为了补偿这种劣化,在压电器件中采取了根据静电电容的变化而求得位移量的方法.但是,其安装的测量装置远远超过了压电器件的大小,而失去了压电器件
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