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一、概述对E2PROM来说，可靠性是至关重要的。主要的可靠性指标有耐久性和数据保持特性。耐久性是E2PROM可反复擦／写的能力，通常用E2PROM的擦／写阈值电压随擦／写周期的变化来表示；保持特性是存储在E2PROM中的信息是否能长期保存的能力。目前，多数公司的E2PROM可以做到10万次的耐久性，保持特性一般可达10年。我公司在E2PROM研究工作方面，还刚刚起步，其可靠性方面的工作没有开展。本研究的主要内容包括：1）通过分析原清华大学E‘PROM失效现象，确定E‘PROM的主要失效机理；通过FI，OT