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采用四氯化锆、甲苯作为无机、有机前驱体成功制得ZrOz纳米微晶粉末。扫描电镜分析结果表明,制得的ZrO2纳米粉末为尺寸介于30-40nm的各向同性等轴球形颗粒,无团聚。采用XRD和RAMAN谱对合成的ZrO2粉末晶体结构进行了表征,结果表明所得晶粒为单斜相和四方相。高分辨透射电镜分析结果进一步表明生成单斜和四方相ZrO2微粒,尺寸分别约为36.4nm和32.1nm。此外,分析了ZrCl4-C7H8体系的热力学过程及Zr02的合成机理。