【摘 要】
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本文针对无铬掩模方式，从计算机摸拟和实验两个方面，研究了ＫｒＦ准分子激光（λ＝２４８ｎｍ）接触式移相曝光。得到了０．１μｍ的正胶线条。得出了在接触式相干平行光照射下，移相器与基片间距对光刻线条宽窄
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本文针对无铬掩模方式，从计算机摸拟和实验两个方面，研究了ＫｒＦ准分子激光（λ＝２４８ｎｍ）接触式移相曝光。得到了０．１μｍ的正胶线条。得出了在接触式相干平行光照射下，移相器与基片间距对光刻线条宽窄有很大影响的结论，并通过将移相器直接做在基片上，给出了移相器紧贴基片的可靠方法。
In this paper, a KrF excimer laser (λ = 248nm) contact phase shift exposure is studied from two aspects of computer simulation and experiment. A positive paste of 0.1 μm was obtained. It is concluded that the distance between the phase shifter and the substrate greatly affects the width of the lithographic pattern under the condition of contact-type coherent parallel light irradiation. By using the phase shifter directly on the substrate, the phase shifter Reliable method of affixing the substrate.
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