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本文介绍了计算机辅助设计（ＣＡＤ）在光学薄膜设计和生产中的应用，并给出了几个典型设计实例。利用ＣＡＤ评价光学薄膜厚度的允差和设计在镀膜过程中的膜层厚度监控规律，以及简化镀膜工艺，大大提高了镀膜效率，给人们带来极大的效益。
CAD在光学薄膜设计和生产中的应用
【摘 要】
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本文介绍了计算机辅助设计（ＣＡＤ）在光学薄膜设计和生产中的应用，并给出了几个典型设计实例。利用ＣＡＤ评价光学薄膜厚度的允差和设计在镀膜过程中的膜层厚度监控规律，以及简化镀膜工艺，大大
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1996年6期
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