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研究了化学膜/熔石英基片体系（膜层镀于熔石英基片上）的激光损伤。化学膜为纯洁的溶胶一凝胶二氧化硅增透膜，测量闽值的激光器输出波长为355nm，脉宽为6．3ns。结果表明体系的激光损伤阈值与基片的阈值相当且随其提高而提高。当基片的阈值为4．8J·cm^-1时，镀膜后阈值为4．9J·cm一。；用激光预处理提高基片的阈值到7．2J·cm^-2,，镀膜后阈值提高到7．3J·cm^-2。采用动态比较法研究表明：激光作用于化学膜/熔石英基片体系，基片先损伤，后引起膜层损伤。