【摘 要】
：
磷硅玻璃(PSG)是一种优良的钝化介质.其主要特点是其抗钠离子沾污的能力强,工艺操作简便,淀积温度低(低于500℃),适用于半导体器件电极金属化之后的二次表面钝化.这样既起到
论文部分内容阅读
磷硅玻璃(PSG)是一种优良的钝化介质.其主要特点是其抗钠离子沾污的能力强,工艺操作简便,淀积温度低(低于500℃),适用于半导体器件电极金属化之后的二次表面钝化.这样既起到了表面钝化作用,又保护了铝层电极,从而可提高半导体器件的合格率及可靠性.
Phosphosilicate glass (PSG) is an excellent passivation medium, its main features are its resistance to sodium ion contamination, the process is simple, low deposition temperature (less than 500 ℃), suitable for semiconductor device electrode metal After the secondary surface passivation.This will not only play a role in the surface passivation, but also protect the aluminum layer electrode, which can improve the pass rate of semiconductor devices and reliability.
其他文献
“项目立县+农业产业化”是河北省威县的经济发展模式,在改革开放30周年的今天,这个曾经落后的区县正在迎来新的生机
“Project County + Agriculture Industrialization
为了在HT—6M托卡马克装置上开展低杂波驱动等离子体电流的实验研究,我们建立了一套颇有特色的低杂波射系统。该系统主要由微波源、传输系统和天线三部分组成。我们采用独特
优盘、易盘、搬运工、魔盘、迷你王、旅之星、随身存、领航者、储灵通、慧存、PEN DRIVE、大姆哥霹雳碟、红盘……知道我在说什么吗?前面所例数的这些名字,都是目前市场上出
对于中考试题的分析与评价一向是教育教学研究的热点问题。在以往的试卷研究中,较为常见的是对试题整体风格、试题命制趋势及典型试题的研究。本文以布鲁姆目标分类法为标准,
在当今电影界里确实存在商业化的现象,存在低劣与庸俗的特征,存在高投入的好莱坞式表达的倾向,存在对视觉冲击力和听觉震撼力的追求。然而,我们也应该看到,仍然有电影人致力
今年以来,面对国际金融危机和严重洪涝灾害带来的挑战和困难,全县上下紧紧围绕“加速科学发展,建设富厚双峰”的战略目标,全力实施“工业强县、生态立县、文化兴县、开放活县
近年来,衡南县茅市镇领导班子认真贯彻落实科学发展观,围绕“发展民营经济,激活城镇商贸,建设社会主义新农村”的工作宗旨,励精图治,真抓实干,实现了全镇经济和社会各项事业
一年一度的暑期档是好莱坞最挣钱的时节,能挤进这个档期,必然要有十分的实力,才抵得住“变形金刚”、“哈利·波特”们的冲击。2009年之夏,有不少北美以外的电影在这个档期中
目的对Beagle犬早、晚服用复方雷尼替丁分散片后,探讨其血药浓度及药物动力学参数的时辰变化规律,为制定给药方案提供参考。方法采用RP-HPLC法,测定6只Beagle犬于早、晚分别
本文报导采用气相色谱变温浓缩取样的方法,分析了高纯氢中的微量氧.其测量灵敏度可达O.1ppm数量级.并在实际应用中证明,这种分析方法比较简单,重复性好,对改进监测半导体材料