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利用化学沉积技术在云母衬底上制备Bi2Te3薄膜,采用光学显微镜研究不同的制备条件对Bi2Te3薄膜样品形貌的影响,并使用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和Seebeck系数电导率测试仪分析Bi2Te3薄膜的物相、厚度、元素含量和热电参数。实验结果表明,在蒸发源温度为525℃、携带气流流速为30sccm、生长压力为50Pa的最佳条件下制备出高质量连续、室温功率因子为48.2μWm^-1K^-2的Bi2Te3薄膜。