【摘 要】
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用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜, 用扫描电镜(SEM)观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌.使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析, 用纳米压痕仪测试
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用过滤电弧技术在高速钢表面沉积了TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜, 用扫描电镜(SEM)观察了截面和断口形貌及划痕后的形貌.使用俄歇电子谱仪进行剥层成分分析, 用纳米压痕仪测试了多层膜和单层膜的显微硬度和弹性模量.结果表明, 在调制周期大于100 nm时, 多层膜的显微硬度符合Hall-Petch关系, 在80 nm时, 则脱离线性关系.划痕法测试多层膜的结合力达到80 N.
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