【摘 要】
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引言在刀具上沉积TiN、TiC或其复合镀层,可大大提高它们的使用寿命。在硬质合金刀具的国际市场上,带镀层的刀具已占有重要的地位。到目前在止,镀超硬膜的主要方法是化学气相
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引言在刀具上沉积TiN、TiC或其复合镀层,可大大提高它们的使用寿命。在硬质合金刀具的国际市场上,带镀层的刀具已占有重要的地位。到目前在止,镀超硬膜的主要方法是化学气相沉积(CVD)。因为它的工艺成熟,适于大批量生产。但这种技术有两个显著的缺点:(1)沉积时温度高,要在1000℃左右,所以只能用于硬质合金刀具上。
Introduction TiN, TiC or their composite coatings deposited on the tool greatly increase their useful life. In the international market of carbide tools, coated tools have taken an important position. Until now, the main method of plating superhard films was chemical vapor deposition (CVD). Because of its mature technology, suitable for mass production. However, this technique has two significant drawbacks: (1) The deposition temperature is high, at about 1000 ℃, so it can only be used on carbide tools.
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