【摘 要】
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为了满足微型信息处理机等半导体设备的需要 ,日本住友金属工业公司已开发出超低Ｍｎ、Ａｌ、Ｓ、Ｏ的ＳＵＳ316Ｌ -ＥＰ不锈钢配管 ,其商品名“ＳｏｍｉＣｌｅａｎＦ” ,满足了 64Ｍｂｉｔ存储装置材料要求。目前日本正生产的 2 5
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为了满足微型信息处理机等半导体设备的需要 ,日本住友金属工业公司已开发出超低Ｍｎ、Ａｌ、Ｓ、Ｏ的ＳＵＳ316Ｌ -ＥＰ不锈钢配管 ,其商品名“ＳｏｍｉＣｌｅａｎＦ” ,满足了 64Ｍｂｉｔ存储装置材料要求。目前日本正生产的 2 56Ｍｂｉｔ级对纯度要求更加严格 ,生产中还使用
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