Influence of Ar/N2 Flow Rate on Structure and Property for TaN/NbN Multilayered Coatings

• 作 者: Xuehua ZHANG Yuanbin KANG Sipe
• 机 构: CollegeofPhysicsandElectronicInformationScience
• 出 处: 材料科学技术学报：英文版
• 发表日期: 2007年4期
• 关键词: 射频磁控管溅射 竹碳/汽车音响多层涂料 纳米技术 机械性质 RF magnetron sputtering TaN/NbN multilayered coat
• 基金项目: AcknowledgementThis work was supported by the National Natural Sci- ence Foundation of China under Grant No. 50472026.

有 nanoscale 双性人层时期的 TaN/NbN multilayered 涂层被 RF (收音机频率)以不同 Ar/N2 流动率综合磁控管 sputtering.XRD (X光检查衍射) andNano Indenter 系统被采用调查 Ar/N2 流动率的影响(F_( Ar ):F_( N2 ))在微观结构和机械性质上涂层。低角度的 XRD 模式显示了定义 awell 的作文调整和 multilayered 涂层的层结构。所有 multilayered 涂层几乎比 rule-of-mixtu