高功率调制脉冲磁控溅射沉积TiAlSiN纳米复合涂层对钛合金基体抗氧化性能的影响研究

• 作 者: 李玉阁 朱小鹏 吴彼 雷明凯
• 机 构: 大连理工大学材料科学与工程学院表面工程实验室
• 出 处: 表面技术
• 发表日期: 2020年12期
• 关键词: TiAlSiN纳米复合涂层 高功率调制脉冲磁控溅射 钛合金 抗氧化 TiAlSiN nanocomposite coatingsmodulated pulsed
• 基金项目: 国家重点研发计划项目资助(2018YFA0704603),国家自然科学基金(51601029,U1508218),中央高校基本科研业务费(DUT19JC52)

目的研究Ti6Al4V基TiAlSiN涂层在800℃下的抗循环氧化性能。方法采用高功率调制脉冲磁控溅射技术,通过调节N2/Ar的流量比fN2,在Ti6Al4V合金和Si(100)上沉积了一系列不同Si含量的TiAlSiN涂层。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、电子探针、透射电镜和纳米压痕仪,表征了TiAlSiN涂层的成分、相组成、微结构和硬度,并通过X射线衍射仪和扫描电子显微镜,进一步对Ti AlSiN涂层在800℃下循环氧化后的微观结构和形貌进行分析。结果脉冲平均功率为2k W时,fN2由10%增至30