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介绍JEM-100CX透射电镜真空故障检修的一点体会。一、故障现象: 在抽主机高真空时,旋转泵1的负载变得很重,不断发出“啪啪啪”的抽气声响,声间大,频率高,旋转泵1发烫,真空度一直上不去,电子枪的真空约为200μA。主机无法工作。二、分析和判断: (1)旋转泵1的作用有2条:(一)将电子枪、镜筒、照相室的低真空抽至160μA左右。(二)抽底片干