【摘 要】
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一、引言 近年来,采用涡轮分子泵获得“清洁”超高真空的场合日益增多,因而有关涡轮分子泵“清洁”程度或返油水平的研究和讨论成了重要的论题[1、2、3]。 大多数的测试表明:
【机 构】
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机械工业部沈阳真空技术研究所,机械工业部沈阳真空技术研究所,机械工业部沈阳真空技术研究所,机械工业部沈阳真空技术研究所
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一、引言 近年来,采用涡轮分子泵获得“清洁”超高真空的场合日益增多,因而有关涡轮分子泵“清洁”程度或返油水平的研究和讨论成了重要的论题[1、2、3]。 大多数的测试表明:在操作无误的情况下,涡轮分子泵可将油蒸汽的返流率降低到传统测量方法的可检水平以下。但是,只要分子
I. INTRODUCTION In recent years, the use of turbo-molecular pumps to obtain “clean” ultra-high vacuum situations is increasing day by day. Therefore, research and discussion on the degree of “cleanliness” or return of turbo-molecular pumps has become an important topic [1, 2, ]. Most tests have shown that turbo-molecular pumps reduce the return flow of oil vapors below the detectable levels of traditional measurement methods when operated correctly. But as long as the molecule
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