金刚石上不同晶体结构Y2O3膜性质与增透性能研究

• 作 者: 陈良贤 刘金龙 冯寅楠 闫雄伯 安康 魏俊俊 李成明
• 机 构: 北京科技大学新材料技术研究院,有研科技集团有限公司
• 出 处: 表面技术
• 发表日期: 2019年1期
• 关键词: 金刚石膜 Y2O3 增透膜 窗口 立方结构 单斜结构 diamond film Y2O3 anti-reflection film window cubic s
• 基金项目: 国家重点研发计划(No.2018YFB0406501).

目的研究不同晶体结构Y2O3薄膜的性质及其对金刚石增透性能的影响规律。方法采用反应磁控溅射的方法,通过控制氧氩比,在金刚石膜上制备立方与单斜两种不同晶体结构的Y2O3薄膜,随后系统研究两种Y2O3薄膜的性质与增透性能。结果在低氧氩比下获得了立方结构Y2O3薄膜,在高氧氩比下获得了单斜结构Y2O3薄膜,二者表面粗糙度分别为2.57、1.07nm。两种晶体结构均呈现出符合Y2O3原子配比的价态。立方和单斜结构的Y2O3薄膜硬度分别为17.4、12.6GPa;弹性模量分别为248.1、214.6GPa。双面镀制