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利用X射线光电子能谱（XPS）分析了不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的组成成分以及各种组分纵向分布;用观察在扫描电子显微镜（SEM）不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的微观形貌。研究了InSb阳极氧化膜的化学和结构特性及其对自身电学性能的影响。为提高InSb阳极氧化膜制备工艺水平提供了有效参考。
InSb阳极氧化膜组分和形貌分析
【摘 要】
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利用X射线光电子能谱（XPS）分析了不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的组成成分以及各种组分纵向分布;用观察在扫描电子显微镜（SEM）不同氧化条件下InSb阳极氧化膜的微观形貌。研究了In
【机 构】
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华北光电技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2008年3期
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