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【摘 要】
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为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流
【机 构】
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西南交通大学机械工程学院,东京工业大学精密工学研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2015年2期
【基金项目】
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supported by National Natural Science Foundation of China(51205329)
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