【摘 要】
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将两种不同微观组织的钼靶材在同样的溅射工艺下进行薄膜溅射,通过溅射后钼靶材和钼溅射薄膜的表面形貌观察以及钼薄膜厚度、方阻及结晶取向的测试,探讨了靶材微观组织对薄膜
【机 构】
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西安交通大学金属强度国家重点实验室,金堆城钼业股份有限公司技术中心
【基金项目】
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国家重点研发计划项目(项目编号:2017YFB0305600)
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将两种不同微观组织的钼靶材在同样的溅射工艺下进行薄膜溅射,通过溅射后钼靶材和钼溅射薄膜的表面形貌观察以及钼薄膜厚度、方阻及结晶取向的测试,探讨了靶材微观组织对薄膜性能的影响。结果表明,靶材的微观组织对钼薄膜的性能有着较大的影响,晶粒组织细小均匀的钼靶材有助于钼薄膜沉积速率的提高,同时有利于组织均匀、表面平整以及厚度和方阻分布均匀的钼薄膜的形成;两种钼靶材溅射形成的钼薄膜均呈现明显的(110)择优取向,钼靶材微观组织的差异对溅射薄膜的结晶取向没有显著的影响。
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