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采用脉冲直流电源,以甲醇有机溶液作为碳源,在低温（60℃～70℃）常压条件下,在（100）硅片上沉积了类金刚石薄膜。用扫描电镜、透射电镜、电子衍射谱和拉曼光谱表征了薄膜的表面形貌和结构。结果表明：类金刚石薄膜致密均匀,表面粗糙度小;Raman光谱在1332cm^-1附近有一强峰,与金刚石的特征峰接近;电子衍射谱的分析结果表明薄膜中含有多晶金刚石和石墨碳相。